NS-3000本體配置405 nm雷射，可以針對精細微小的結構量測出其高度、寬度、角度(Angle)、區域(Area)、體積(volume)
；再透過Photo multiplier tube(PMT)和Z軸雷射掃描更可以精確的進行高解析度的3D觀察。 |
| NS-3000 High Speed Laser Confocal Microscope |
|
應用領域：
�� •半導體 – IC pattern, bump高度，缺陷檢測，CMP Process
�� •FPD平面顯示器 – LCD column spacer height，PDP rib height
�� •MEMS devices – 量測樣品結構的3D輪廓，表面粗糙度，MEMS pattern
�� •玻璃表面 – 薄膜太陽能板，laser patterning，刮痕深度
�� •材料探究 – tooling 表面檢測，粗糙度，裂痕分析 |
特點&優勢：
�� •高解晰度且不會接觸和損壞樣品的3D量測
�� •即時的共焦影像顯示
�� •配備不同倍數的光學變焦
�� •自動對焦擷取影像
�� •斜角補整量測
�� •簡易的分析模組
�� •快速且精確的高度測量
�� •不必預先準備樣品可以直接量測
�� •自動物鏡轉換器(選配) |
 |
|
| |
|
| |
量測範例 |
|
| •LCD column spacer |
|
•Particle on LCD panel |
|
|
| •OLED |
|
•Solar cell glass laser pattern |
|
|
|
|
| |
|
| |
即使初學者也能立即上手的簡易操作界面~ NSView Pro |
|
|
|
< Operation window > |
|
< Analysis window > |
|
| |
|
| |
| 規 格 |
光源 |
雷射 |
405 nm (mW,Class,Ⅲb)
|
| 白光照明 |
白色 LED 照明 |
|
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
�傿瓥末d圍(μm2) |
2500x2500 |
1250x1250 |
625x625 |
250x250 |
125x125 |
|
1x ~10x |
|
140 μm*2 |
|
70 mm(coarse) / 200 μm(fine) |
|
10nm |
|
512x512, 512x256, 512x128 |
|
15,30,60,120*3 Hz |
Repeatability for height
|
20 nm*4 |
|
0.3 sec*5 |
��重 �僆q |
12 kg*6 |
|
328(W) x 499(H) x 595(D) mm3 |
|
*1、Users可自由選配。更高倍率的例如150x或是更長工作距離的物鏡亦有可供選配。
*2、Line and space resolution for 100x/0.95 objective with optical zoom.
*3、Bi-directional mode with 512X128 image size
*4、3σ of 100 times measurements of standard sample(0.94μm step height) with 100x/0.95 objective.
*5、When 30 sectional 2D (512x128) images are used for 3D profiling.
*6、12kg僅僅為量測頭的重量；總體重量會根據裝設的物鏡數量及是否加裝電動載物台而有不同。 |
|
|
|
| |
| 選 購 |
•物 鏡 |
•電動鼻輪(自動物鏡切換) |
•X.Y載物台 |
|
|
|
|
|
|
| |
| 工業化模組 NS-I3000 |
|
|
如需進一步產品資訊，歡迎洽詢 愛發公司 06-3113459 王依婷小姐
email: joann@apic.com.tw
|
回首頁 ︳
